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  • 直流射频磁控溅射薄膜沉积与高温封接系统
  • 真空涂覆设备
  • 四靶栅网磁控溅射台
  • 可调式射频复合溅射
  • 矩形靶
  • 多弧离子镀结合非平衡磁控溅射设备
  • 多功能膜沉积系统
  • 大功率连镀式溅射仪
  • 程控镀膜机
  • TFR-3-等离子体刻蚀及敷膜装置
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