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KM2中央控制及试验管理系统
KM5试验设备中央测控系统
YH-650-YH-900型热真空模拟设备
工件架
真空室内电机控制移动小车
真空室外工件对接小车
直流射频磁控溅射薄膜沉积与高温封接系统
真空涂覆设备
四靶栅网磁控溅射台
可调式射频复合溅射

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